FP-260日本理研RIKEN移動式特殊檢測儀FP260
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●工業(yè)半導(dǎo)體凈化室的理想檢測儀器
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●更適于低濃度檢測（PPM級）
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●抗干擾性強(qiáng)
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●盒式帶取放簡便
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●盒帶剩余量顯示
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規(guī)格：
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類 型
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臺式，可搬運型
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檢測原理
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光電光度學(xué)原理用于盒式紙帶
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檢測盒帶
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VHS型可更換盒式帶電
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和耗電量
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AC220V 50/60Hz
檢測時：35VA 供帶時：60VA
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275(W)×220(H)×370(D)mm 約12Kg
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檢測名稱
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檢測
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TLV值
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檢測
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解析值
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磷 PH4
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300ppb
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0--900ppb
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5
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四氫化硅 SiH4
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5ppm
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0--15ppm
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0.25
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乙硼烷 B2H6
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100ppb
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0--300ppb
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5
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胂 AsH3
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50ppb
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0--150ppb
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1
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乙硅烷 SiH6
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5ppm
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0--10ppm
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0.1
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硫化氫 HS2
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10ppm
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0--100ppm
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1
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光氣 COCl2
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100ppb
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0--300ppb
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2
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氯氣 Cl2
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0.5ppm
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0--100ppb
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1
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硒化氫 H2Se
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50ppb
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0--300ppb
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2
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